2019年11月9日，由中國儀器儀表學(xué)會(huì)、鄭州市人民政府主辦，智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟、西安交通大學(xué)、鄭州市工業(yè)和信息化局承辦的“智能傳感器與MEMS前沿技術(shù)論壇”在鄭州國際會(huì)展中心隆重舉辦，來自傳感器及相關(guān)領(lǐng)域的高校、企業(yè)和研究所人員參加了本次專題論壇。

中國工程院院士、西安交通大學(xué)教授蔣莊德

中國工程院院士、現(xiàn)任清華大學(xué)黨委常委、副校長尤政

中國工程院院士、西安交通大學(xué)教授蔣莊德，中國工程院院士、清華大學(xué)黨委常委、副校長尤政出席了本次論壇并發(fā)表致辭。

圍繞智能傳感，前沿產(chǎn)業(yè)技術(shù)及產(chǎn)品應(yīng)用，來自成都電子科技大學(xué)王曾輝、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任李鐵、蘇州大學(xué)納米科學(xué)與技術(shù)學(xué)院副院長孫旭輝、歐姆龍電子部件貿(mào)易（上海）有限公司技術(shù)支持工程師三角卓士、西南科技大學(xué)微系統(tǒng)中心主任高揚(yáng)等知名傳感器產(chǎn)業(yè)專家和企業(yè)代表在現(xiàn)場發(fā)表主旨演講，并在以傳感器技術(shù)為核心的智能制造等相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)域進(jìn)行了觀點(diǎn)碰撞。

傳感器作為一種能感知、轉(zhuǎn)化、輸出信息的裝置，在很多領(lǐng)域都有應(yīng)用。隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能技術(shù)的發(fā)展，智能傳感器也成為了新的市場需求，未來在工業(yè)、醫(yī)療、農(nóng)業(yè)、3C等各行各業(yè)承擔(dān)著不可或缺的作用。

成都電子科技大學(xué)王曾輝

納米機(jī)電器件，顧名思義，是具有機(jī)械運(yùn)動(dòng)自由度的納米電子器件。此“能動(dòng)性”使得這類器件在研究低維及納米尺度的物理現(xiàn)象中具有一些獨(dú)到的潛力和優(yōu)勢(shì)。成都電子科技大學(xué)王曾輝以“動(dòng)”察秋毫——用納米幾點(diǎn)器件來探索微尺度世界為主題進(jìn)行了演講，報(bào)告中通過列舉表明在一些工作中，低維納米材料的機(jī)械運(yùn)動(dòng)能被用來幫助探索新的低維現(xiàn)象和納米材料體系，使得研究者“動(dòng)”若觀火地檢測到一些原來不容易被觀察到的玩象，進(jìn)而帶來新的發(fā)現(xiàn)。

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任李鐵

微納傳感器由于體積小、功耗低、性能高，已成為MEMS/NEMS技術(shù)的下一個(gè)市場化熱點(diǎn),預(yù)期將在手機(jī)、醫(yī)療、環(huán)境和消費(fèi)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。但目前的技術(shù)難點(diǎn)在于將可批量化制造的MEMS技術(shù)與納米加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)有機(jī)結(jié)合,以實(shí)現(xiàn)納米材料的高靈敏度、高選擇性,同時(shí)滿足低成本、大批量制造的要求。中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任李鐵在走向微電子產(chǎn)業(yè)的微納傳感器研究的報(bào)告中回顧了課題組近年來將MEMS技術(shù)與納米材料制備技術(shù)的融合制造方法方面的探索，以及在超高靈敏微納傳感器研制方面的應(yīng)用。

蘇州大學(xué)納米科學(xué)與技術(shù)學(xué)院副院長孫旭輝

近年來，人工智能覺在世界范圍內(nèi)已經(jīng)得到了很大的發(fā)展，人工智能嗅覺在改善環(huán)境空氣質(zhì)量、保障國家公共安全、打擊犯罪活動(dòng)、輔助預(yù)測疾病、增強(qiáng)軍事對(duì)抗能力、促進(jìn)食品衛(wèi)生以及公共安全、監(jiān)測工業(yè)漏氣和毒氣等多方面已經(jīng)得到越來越廣泛的應(yīng)用。蘇州大學(xué)納米科學(xué)與技術(shù)學(xué)院副院長孫旭輝的演講主題是納米氣體傳感器及其人工嗅覺的實(shí)現(xiàn)，在報(bào)告中，他介紹了近年來在異質(zhì)結(jié)納米氣敏材料及其機(jī)理研究、器件制備、系統(tǒng)集成及其應(yīng)用方面的研究結(jié)果。最后，還分享了其在自驅(qū)動(dòng)氣體傳感系統(tǒng)方面的研究。

歐姆龍電子部件貿(mào)易（上海）有限公司技術(shù)支持工程師三角卓士

歐姆龍技術(shù)電子元器件業(yè)務(wù)，聚焦終端/設(shè)備領(lǐng)域，向客戶提供快速、容易處理、有價(jià)值的數(shù)據(jù)。歐姆龍電子部件貿(mào)易（上海）有限公司技術(shù)支持工程師三角卓士以智慧城市時(shí)代需要的終端智能感知為主題進(jìn)行了演講。他向與會(huì)觀眾介紹了歐姆龍與保險(xiǎn)公司、天氣業(yè)務(wù)、物聯(lián)網(wǎng)安全管理等多方面的合作案列,及個(gè)人住宅、商務(wù)樓宇和店鋪的傳感器應(yīng)用。

西南科技大學(xué)微系統(tǒng)中心主任高揚(yáng)

西南科技大學(xué)微系統(tǒng)中心主任高揚(yáng)在進(jìn)行薄膜體聲波（BAW）技術(shù)的新一輪創(chuàng)新與挑戰(zhàn)的主題演講時(shí)表示，簡要介紹了BAW SOFARE的現(xiàn)狀，以及西南科技大學(xué)微系統(tǒng)中心的相關(guān)工作。他表示，過去10年，手機(jī)射頻濾波器的機(jī)遇推動(dòng)了薄膜體聲波(BAW)技術(shù)的快速發(fā)展。隨著技術(shù)升級(jí)換代BAW技術(shù)顯示出更大的活力，未來5年BAW濾波器市場格局將重新洗牌。更為重要的是，BAW技術(shù)將超越濾波器應(yīng)用，迅速擴(kuò)展到傳感器、振蕩器、天線等新的領(lǐng)域。

隨著MEMS技術(shù)、信息理論及數(shù)據(jù)分析算法的繼續(xù)發(fā)展，未來的傳感器必將變得更加多功能化、智能化。在各種新興科學(xué)技術(shù)呈輻射狀廣泛滲透的當(dāng)今社會(huì)，作為現(xiàn)代科學(xué)“耳目”的傳感器系統(tǒng)，作為人們快速獲取、分析和利用有效信息的基礎(chǔ)，也必將進(jìn)一步得到關(guān)注。