北京俄華通儀表技術(shù)有限公司

創(chuàng)新產(chǎn)品組|三等獎

??研究現(xiàn)狀

目前國內(nèi)低溫介質(zhì)壓力測量多數(shù)采用毛細(xì)引壓管升溫和充油法蘭導(dǎo)壓以及機械方式等為主，在測量過程中測得壓力值與實際壓力值存在較大誤差。

??創(chuàng)新理念

鈦-硅藍(lán)寶石壓力傳感器HPL低溫系列，突破了壓力傳感器不能直接對低溫介質(zhì)測量的屏障，可直接對低溫-200度的介質(zhì)進行測量，且測量精度高，可應(yīng)用于深低溫設(shè)備中用于液化天然氣、液氧、液氮、液氫等介質(zhì)的測量。

??創(chuàng)新描述

鈦/硅-藍(lán)寶石壓力傳感器為應(yīng)變壓阻結(jié)構(gòu)，在彈性體藍(lán)寶石上異質(zhì)外延生長單晶硅薄膜，利用干法腐蝕制作藍(lán)寶石杯，然后刻蝕硅膜形成惠斯登力敏電橋。藍(lán)寶石+鈦合金在850℃高溫熔焊在一起，形成絕緣性很好的基底墊層。由鈦合金接收（感壓）膜片和鈦合金測量雙膜片構(gòu)成，藍(lán)寶石上異質(zhì)外延應(yīng)變敏感電路膜片，被熔焊在鈦合金測量膜片上，當(dāng)接收（感壓）膜片在被測壓力作用時，將被測壓力傳到測量膜片上，這時測量膜片產(chǎn)生變型，該形變電橋輸出會發(fā)生變化，變化的幅度與被測壓力成正比，電橋電路將應(yīng)變電橋的失衡信號，轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出。

??使用時間

產(chǎn)品于2018年4月份設(shè)計完成，且經(jīng)過多次測試改進，年底已實現(xiàn)量產(chǎn)化。2019年5月份開始已在國內(nèi)多家公司不同行業(yè)進行使用。

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