根據(jù)《國務(wù)院關(guān)于改進(jìn)加強(qiáng)中央財政科研項目和資金管理的若干意見》（國發(fā)[2014]11號）、《國務(wù)院關(guān)于深化中央財政科技計劃（專項、基金等）管理改革方案的通知》（國發(fā)[2014]64號）、《科技部 財政部關(guān)于改革過渡期國家重點(diǎn)研發(fā)計劃組織管理有關(guān)事項的通知》（國科發(fā)資[2015]423號）等文件要求，現(xiàn)將國家重點(diǎn)研發(fā)計劃高新領(lǐng)域12個重點(diǎn)專項2017年度項目申報指南建議（見附件）向社會征求意見。征求意見時間為2016年8月16日至2016年8月20日。

　　國家重點(diǎn)研發(fā)計劃相關(guān)重點(diǎn)專項的凝練布局和任務(wù)部署已經(jīng)戰(zhàn)略咨詢與綜合評審特邀委員會咨詢評議，國家科技計劃管理部際聯(lián)席會議研究審議，并報國務(wù)院批準(zhǔn)。本次征求意見重點(diǎn)針對各專項指南方向提出的目標(biāo)指標(biāo)和相關(guān)內(nèi)容的合理性、科學(xué)性、先進(jìn)性等方面聽取各方意見?？萍疾繉嘘P(guān)部門、專業(yè)機(jī)構(gòu)和專家，認(rèn)真研究收到的意見，修改完善相關(guān)重點(diǎn)專項的項目申報指南。征集到的意見將不再反饋和回復(fù)。

　　接收意見電子郵件：gxs_zdhc@most.cn

　　附件9

　　“增材制造與激光制造”重點(diǎn)專項

　　2017年度項目申報指南建議

　　為落實(shí)《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006－2020年）》和《中國制造2025》等提出的任務(wù)，國家重點(diǎn)研發(fā)計劃啟動實(shí)施“增材制造與激光制造”重點(diǎn)專項。根據(jù)本專項實(shí)施方案的部署，現(xiàn)提出2017年度項目申報指南建議。

　　本重點(diǎn)專項總體目標(biāo)是：突破增材制造與激光制造的基礎(chǔ)理論，取得原創(chuàng)性技術(shù)成果，超前部署研發(fā)下一代技術(shù)；攻克增材制造的核心元器件和關(guān)鍵工藝技術(shù)，研制相關(guān)重點(diǎn)工藝裝備；突破激光制造中的關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)高可靠長壽命激光器核心功能部件、國產(chǎn)先進(jìn)激光器，研制高端激光制造工藝裝備；到2020年，基本形成我國增材制造與激光制造的技術(shù)創(chuàng)新體系與產(chǎn)業(yè)體系互動發(fā)展的良好局面，促進(jìn)傳統(tǒng)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級，支撐我國高端制造業(yè)發(fā)展。

　　本重點(diǎn)專項按照“圍繞產(chǎn)業(yè)鏈，部署創(chuàng)新鏈”的要求，圍繞增材制造與激光制造的基礎(chǔ)理論與前沿技術(shù)、關(guān)鍵工藝與裝備、創(chuàng)新應(yīng)用與示范部署任務(wù)。專項實(shí)施周期為5年（2016－2020）。

　　1．增材制造

　　1.1面向增材制造的產(chǎn)品創(chuàng)新設(shè)計技術(shù)（基礎(chǔ)前沿類）

　　研究內(nèi)容：研究面向金屬增材制造的工藝約束建模方法，結(jié)合結(jié)構(gòu)功能與承載性能約束，發(fā)展復(fù)雜整體結(jié)構(gòu)的高性能輕量化拓?fù)鋬?yōu)化方法，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)構(gòu)型、功能組件布局、多材料梯度布局的整體匹配優(yōu)化設(shè)計；制定面向增材制造的整體結(jié)構(gòu)、多材料梯度結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范、軟件，形成可供工程化應(yīng)用的增材制造結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計技術(shù)體系。

　　考核指標(biāo)：建立增材制造工藝約束模型和實(shí)現(xiàn)方法、典型零部件結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計方法及其性能評估模型，可處理100萬以上變量及2種以上不同類型設(shè)計變量的混合優(yōu)化；整體結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)件數(shù)量減少50%以上、功能和效能提升15%以上；形成相關(guān)設(shè)計軟件平臺、設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范；實(shí)現(xiàn)在航空、航天、能源、動力等領(lǐng)域的應(yīng)用驗證。

　　1.2高效寬幅微滴噴射陣列打印頭的研發(fā)（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：微滴噴射陣列打印頭的流體輸送特性、微小液滴形成與噴射過程、打印頭壽命影響因素，液滴噴射品質(zhì)的評價方法；微滴噴射陣列打印頭流道結(jié)構(gòu)設(shè)計、芯片封裝過濾系統(tǒng)設(shè)計、MEMS制造工藝和CMOS工藝設(shè)計優(yōu)化及集成方法；智能芯片設(shè)計及開發(fā)，芯片模塊集成方法和校準(zhǔn)方式；打印頭微滴噴射控制技術(shù)。

　　考核指標(biāo)：模塊化設(shè)計，微滴噴射陣列打印頭噴嘴密度大于1200個/英寸；單位打印頭模塊≥100mm， 集成打印寬幅≥900mm，打印頭最高工作頻率≥20kHz，打印噴嘴壽命大于2.5億次；可噴液體粘度范圍1-100CP。

　　1.3智能化增材制造系統(tǒng)平臺（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：增材制造元器件、材料工藝數(shù)據(jù)庫、在線檢測反饋系統(tǒng)、系統(tǒng)決策控制融合，構(gòu)建增材制造智能化平臺技術(shù)。建立工藝參數(shù)庫和知識庫，開發(fā)支持高精度成形的數(shù)據(jù)處理算法和工藝數(shù)據(jù)庫；建立在線檢測系統(tǒng)與信息反饋系統(tǒng)，形成保證成形精度和制件質(zhì)量的智能化工藝參數(shù)系統(tǒng)；研究裝備系統(tǒng)的自診斷和自檢測系統(tǒng)，形成智能在線預(yù)警和設(shè)備自保護(hù)系統(tǒng)；建立增材制造過程的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系，實(shí)現(xiàn)制造精度和質(zhì)量的在線智能化控制。

　　考核指標(biāo)：工藝數(shù)據(jù)庫和工藝參數(shù)系統(tǒng)匹配不少于10種金屬、高分子（含覆膜砂）和陶瓷材料，以及5種以上的增材制造工藝或裝備；在線檢測和反饋系統(tǒng)實(shí)施后，增材制造制件的變形、孔隙和裂紋等缺陷工藝可控，制件質(zhì)量穩(wěn)定性提高1倍；在工程中得到實(shí)際應(yīng)用，實(shí)施不少于100個案例。

　　1.4高性能大型金屬構(gòu)件電弧/電子束熔絲增材制造裝備與工藝（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：針對電弧/電子束熔絲增材制造的三維數(shù)模分析、成型策略優(yōu)化、數(shù)模分層及路徑規(guī)劃軟件；大跨度機(jī)器手或6軸CNC運(yùn)動控制技術(shù)與裝備；高性能大型金屬構(gòu)件電弧/電子束熔絲成形構(gòu)件質(zhì)量控制及性能預(yù)測評估方法；成形過程實(shí)時監(jiān)控技術(shù)；工藝和裝備的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。

　　考核指標(biāo)：裝備最大成形尺寸≥3500mm，成形效率≥500cm3/h，變形控制在0.4mm/100mm以內(nèi)，構(gòu)件主要力學(xué)性能指標(biāo)不低于同成分鑄件或者鍛件，裝備連續(xù)工作時間不低于240小時；實(shí)現(xiàn)應(yīng)用驗證。

　　1.5復(fù)雜精密金屬構(gòu)件電子束粉末床增材制造裝備與工藝（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：高精度電子束掃描系統(tǒng)設(shè)計原理與實(shí)現(xiàn)方法；粉床電子束增材制造裝備系統(tǒng)集成與效能提升技術(shù)，包括定量送鋪粉技術(shù)、輻射防護(hù)技術(shù)、快速冷卻與氣氛控制系統(tǒng)集成技術(shù)，成形過程實(shí)時可視監(jiān)控與在線質(zhì)量診斷技術(shù)等；復(fù)雜精密構(gòu)件粉床電子束成形工藝與軟件；復(fù)雜精密金屬構(gòu)件電子束粉末床增材制造裝備。

考核指標(biāo)：增材制造裝備支持鈦合金、難熔金屬和金屬間化合物等多種金屬材料的精確成形；成形區(qū)域尺寸≥Ф350mm×380mm，幾何精度≤±0.2mm，成形效率≥80cm3/h（以成形標(biāo)準(zhǔn)鈦合金試樣塊為參考）；裝備與工藝實(shí)現(xiàn)應(yīng)用驗證。

　　1.6高性能非金屬材料增材制造工藝與裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：高性能陶瓷及其復(fù)合材料增材制造技術(shù)；連續(xù)纖維增強(qiáng)復(fù)合材料增材制造技術(shù)；研制相應(yīng)的工藝裝備，建立相應(yīng)工藝裝備的適應(yīng)材料、設(shè)備可靠性、環(huán)保安全等標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范；針對國家重大工程需求的應(yīng)用研究。

　　考核指標(biāo)：（1）高性能陶瓷及其復(fù)合材料增材制造裝備的成形尺寸大于200mm×200mm×200mm，成形相對精度高于±2%，對于高致密度陶瓷，后處理后成形件致密度高于99%，對于陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件，其室溫斷裂韌性≥8MPa×m1/2；（2）連續(xù)纖維增強(qiáng)復(fù)合材料增材制造裝備尺寸不大于400mm′400mm′600mm，可以通過行走方式實(shí)現(xiàn)尺寸≥2m的復(fù)雜結(jié)構(gòu)件增材制造；（3）在國家重大工程中得到應(yīng)用。

　　1.7用于缺損組織修復(fù)的可降解仿生多孔支架的增材制造制備技術(shù)（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：針對可降解生物材料的仿生微結(jié)構(gòu)及骨、軟骨、血管、眼角膜等缺損組織修復(fù)支架的制備，研發(fā)相應(yīng)的可降解生物材料增材制造裝備與工藝；開展可降解仿生支架的再生修復(fù)性能及其調(diào)控技術(shù)研究，研究增材制造制備可降解支架的醫(yī)療安全性和有效性的檢測標(biāo)準(zhǔn)與方法，研究制定相關(guān)準(zhǔn)入與監(jiān)管標(biāo)準(zhǔn)。

　　考核指標(biāo)：工藝裝備可以制備小于500μm的仿生微結(jié)構(gòu)，支架孔隙率達(dá)到60%以上；制備的2-3種仿生多孔支架達(dá)到進(jìn)入臨床試驗的要求。

　　1.8增材制造修復(fù)與再制造技術(shù)與裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：不同工業(yè)領(lǐng)域失效零件增材修復(fù)工藝與裝備設(shè)計原則；零件可修復(fù)性評價與修復(fù)判據(jù)；損傷部位前處理及在線3D測量方法、待修復(fù)部位幾何模型快速重建、分層切片及掃描路徑規(guī)劃；面向工程化應(yīng)用的增材修復(fù)與再制造專用合金材料設(shè)計和制備技術(shù)；增材修復(fù)與再制造的控形控性技術(shù)；后處理與無損檢測、性能表征及性能考核。

　　考核指標(biāo)：增材制造修復(fù)裝備可修復(fù)零件尺寸≥3.5m，變形量≤0.1mm/100mm；缺陷部位幾何重建時間小于0.5h，可實(shí)現(xiàn)修復(fù)層厚和掃描路徑調(diào)節(jié)；修復(fù)和再制造后綜合力學(xué)性能不低于原件性能的90%；建立增材修復(fù)與再制造標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范；在國家重大工程中得到應(yīng)用。

1.9復(fù)合增材制造技術(shù)及裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：增材/鍛造復(fù)合制造技術(shù)；增材/減材復(fù)合制造技術(shù)（可任選材料同步送進(jìn)增材制造技術(shù)或粉末床增材制造技術(shù)）；研制相應(yīng)的工藝裝備；建立工藝數(shù)據(jù)庫以及工藝、裝備、制件的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范；針對國家重大工程需求的應(yīng)用研究。

　　考核指標(biāo)：（1）增材/鍛造復(fù)合制造裝備支持多種金屬材料增材成形，實(shí)現(xiàn)成形組織等軸細(xì)晶化，晶粒度及其均勻性超過鍛件水平；成形效率≥3kg/h（以Ti-6Al-4V合金沉積為參考），最大成形尺寸≥3500mm；變形控制在0.3mm/100mm 以內(nèi)；（2）增材/減材復(fù)合制造技術(shù)方向，對于材料同步送進(jìn)增材/減材復(fù)合制造技術(shù)，裝備具有成形復(fù)雜曲面以及帶有內(nèi)腔、內(nèi)孔、內(nèi)流道零部件的能力，成形零件精度不低于0.5‰，表面粗糙度不大于2μm，最大成形尺寸≥1000mm，成形效率≥200cm3/h，連續(xù)工作時間≥240h；對于粉末床增材/減材復(fù)合制造技術(shù)，裝備最大成形尺寸≥300mm，成形效率≥15cm3/h，無故障工作時間≥2000h；（3）建立相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范；（4）在國家重大工程中得到應(yīng)用。

　　1.10金屬增材制造缺陷和變形的射線檢測技術(shù)與裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：增材制造過程冶金缺陷與應(yīng)力應(yīng)變的在線射線（包括X射線、紅外和自然光等）無損檢測方法；元素含量的高精度在線檢測；增材制造特殊冶金缺陷的形成機(jī)理、缺陷特征和無損檢驗特性；檢測信息與材料、結(jié)構(gòu)性能之間的關(guān)聯(lián)。

　　考核指標(biāo)：研制出金屬增材制造在線射線檢測裝備，實(shí)現(xiàn)鈦合金、合金鋼、鋁合金、高溫合金等4類金屬結(jié)構(gòu)件增材制造過程的在線檢測；主要成分探測值誤差優(yōu)于±3at.%，缺陷的檢測識別精度≤0.05mm（以25mm厚的鈦合金為參考），變形的檢測精度≤0.1mm/100mm；形成相關(guān)射線的檢測規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

　　1.11增材制造技術(shù)在航空航天制造領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用示范（應(yīng)用示范類）

　　研究內(nèi)容：針對飛機(jī)和航天器的國家重點(diǎn)工程任務(wù)，提出基于增材制造的系統(tǒng)級結(jié)構(gòu)設(shè)計新思路，梳理出適合于增材制造的結(jié)構(gòu)件的類型，進(jìn)行基于增材制造工藝的結(jié)構(gòu)與材料優(yōu)化設(shè)計，采用適當(dāng)?shù)脑霾闹圃旒夹g(shù)完成相關(guān)零部件的制造和后處理，形成成套的增材制造過程與制件性能的分析檢測技術(shù)，進(jìn)行增材制造結(jié)構(gòu)件以及采用增材制造件后系統(tǒng)的功能、性能、制造效率與成本的綜合評價。

　　考核指標(biāo)：結(jié)構(gòu)件減重﹥30%，功能提升﹥15%，制造全周期縮短﹥20%，成本降低﹥20%；可覆蓋的零件應(yīng)用比例不低于鋁合金和鈦合金結(jié)構(gòu)總重量的3%；建立整套設(shè)計方法、制造工藝及評價體系；實(shí)現(xiàn)增材制造結(jié)構(gòu)件的批量生產(chǎn)并裝機(jī)應(yīng)用；優(yōu)先采用科技計劃（專項、基金等）支持的技術(shù)成果。

　　1.12個性化定制醫(yī)療器械增材制造技術(shù)與應(yīng)用示范（應(yīng)用示范類）

　　研究內(nèi)容：開展金屬與非金屬醫(yī)療器械（含醫(yī)用非醫(yī)療器械）的個性化建模、設(shè)計與定制增材制造技術(shù)研究，并在臨床需求量較大、個性化特征需求較高的方向開展臨床應(yīng)用研究，主要包括增材制造個性化人工關(guān)節(jié)，個性化人工脊柱植入物，個性化義齒及種植體，個性化顱頜面缺損修復(fù)體，增材制造人體疾病精準(zhǔn)治療等；建立增材制造生物醫(yī)療臨床應(yīng)用的服務(wù)、設(shè)計、定制生產(chǎn)和綜合評價的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范及質(zhì)量監(jiān)控體系。

　　考核指標(biāo)：產(chǎn)品打印精度和性能滿足臨床使用要求（一般精度優(yōu)于0.1mm）；對于增材制造I類、II類和III類醫(yī)療器械（含醫(yī)用非醫(yī)療器械）的臨床試用或應(yīng)用病例達(dá)到200例以上；相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)入CFDA評價；優(yōu)先采用科技計劃（專項、基金等）支持的技術(shù)成果。

　　1.13 面向創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的3D打印技術(shù)平臺及應(yīng)用（應(yīng)用示范類）

　　研究內(nèi)容：針對不同層次人群創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的需求，開發(fā)3D打印創(chuàng)意設(shè)計和建模軟件，研發(fā)一體化創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)平臺，匯聚3D打印創(chuàng)新設(shè)計、打印設(shè)備等資源，面向教育、培訓(xùn)、創(chuàng)新設(shè)計、文化創(chuàng)意等開展應(yīng)用示范。

　　考核指標(biāo)：在線3D設(shè)計軟件支持1000人并發(fā)；平臺活躍用戶10萬人以上；優(yōu)先采用科技計劃（專項、基金等）支持的技術(shù)成果。

　　2. 激光制造

　　2.1 超快激光微納制造機(jī)理及新方法（基礎(chǔ)前沿類）

　　研究內(nèi)容：面向新能源、國防、航空航天等領(lǐng)域國家重大需求和新型功能器件制造，建立超快激光與材料相互作用多尺度理論與觀測體系，從電子層面理解光場調(diào)控下微納加工的新現(xiàn)象和新效應(yīng)；研究超快激光時域/空域分布對電子動態(tài)和材料性質(zhì)調(diào)控的加工新原理、新方法及其前沿應(yīng)用，設(shè)計和加工若干具有重大應(yīng)用前景的新型微納功能器件。

　　考核指標(biāo)：建立超快激光與材料相互作用的多尺度模型；實(shí)現(xiàn)加工過程的多尺度觀測，跨越10個以上時間數(shù)量級；加工面積達(dá)到平方厘米量級、含超過10萬個微納結(jié)構(gòu)；解決新能源、國防、航空航天等領(lǐng)域1-3個國家重大需求中核心構(gòu)件的制造難題，發(fā)展1-3個有重大應(yīng)用前景的新型功能器件。

　　2.2 制造用大功率光纖激光器（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：針對激光制造/增材制造裝備需求，開發(fā)傳輸組件、功率合束器等大功率光纖激光關(guān)鍵器件；開展光束質(zhì)量控制、非線性抑制、光譜控制、多路光纖激光功率合成等關(guān)鍵技術(shù)研究；研究高功率泵浦、散熱、輸出功率穩(wěn)定性及光致暗化等關(guān)鍵技術(shù)；發(fā)展工業(yè)化大功率光纖激光器系統(tǒng)集成和模塊化組裝技術(shù)。

　　考核指標(biāo)：開發(fā)出長壽命3kW單模光纖激光器和高可靠性20kW~30kW的多模光纖激光器（輸出光纖芯徑≤200μm）；實(shí)現(xiàn)>2kW單模光纖激光器與>20kW多模光纖激光器的小批量化制造；項目驗收時實(shí)現(xiàn)激光制造用>2kW單模光纖激光器100臺以上、以及>20kW多模光纖激光器10臺以上的銷售量；實(shí)現(xiàn)項目研制大功率光纖激光器在激光制造裝備上的應(yīng)用示范。

　　2.3 制造用紫外激光器（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：針對激光制造/增材制造裝備需求，開發(fā)紫外激光元器件加工工藝，解決抗損傷紫外晶體等光學(xué)元件產(chǎn)品化難題；研究工業(yè)激光器數(shù)值設(shè)計與仿真方法，研究高功率紫外激光器的制造技術(shù)；研究激光器光場分布、偏振/相位特性等調(diào)控新方法，構(gòu)建紫外激光器性能驗證的加工工藝平臺，研究紫外激光器工業(yè)化解決方案。

　　考核指標(biāo)：研制出40W級以上100kHz~1MHz的355nm與10W級50kHz~150kHz的266nm納秒脈沖激光器；建立半自動化紫外激光器批量裝配生產(chǎn)線；項目驗收時國產(chǎn)化工業(yè)紫外激光器實(shí)現(xiàn)200臺以上銷售，其中>20W的激光器銷售不少于20臺、>10W的激光器銷售不少于30臺；實(shí)現(xiàn)項目研制紫外激光器在激光制造裝備上的應(yīng)用示范。

　　2.4 硬脆材料的激光高效加工裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：研究硬脆材料的微結(jié)構(gòu)成形機(jī)理及工藝方法，研究硬脆材料激光高效精密制造技術(shù)及表面質(zhì)量控制方法；攻克激光脈沖調(diào)制、光束穩(wěn)定性控制、多軸運(yùn)動協(xié)同等關(guān)鍵技術(shù)；研制高精度高速掃描振鏡等激光制造用元器件，開發(fā)成套專用激光制造裝備。

　　考核指標(biāo)：瞄準(zhǔn)航天航空、能源等領(lǐng)域的典型硬脆材料加工需求，研制動態(tài)三維掃描振鏡（最大掃描速度不低于8m/s、瞬態(tài)特性不大于160μs）；開發(fā)光機(jī)電協(xié)同控制系統(tǒng)；研發(fā)不少于2類激光精密自動化制造裝備，表面粗糙度Ra≤0.0004mm，尺寸精度誤差優(yōu)于0.005mm，進(jìn)行典型工程應(yīng)用。

　　2.5 復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)的激光加工與測量技術(shù)及裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：研究微細(xì)激光光束聚焦機(jī)理及激光掃描方法；研究突破激光衍射極限的高深寬比納米結(jié)構(gòu)的激光加工技術(shù)；研究超細(xì)激光制造過程監(jiān)測和加工質(zhì)量控制方法；開發(fā)超細(xì)激光聚焦加工樣機(jī)及質(zhì)量檢測設(shè)備。

　　考核指標(biāo)：研制出微細(xì)激光聚焦加工樣機(jī)，實(shí)現(xiàn)深寬比>10：1三維納米結(jié)構(gòu)，以及特征尺度<10nm的二維納米結(jié)構(gòu)激光制造；開發(fā)出橫向分辨率<200nm，軸向分辨率<20nm的超分辨三維光學(xué)測量裝置。實(shí)現(xiàn)1-2件微納器件制造應(yīng)用。

　　2.6 激光高性能連接/超精密焊接裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：面向國家重大需求，研究兩個方面內(nèi)容：（1）研究納米材料/結(jié)構(gòu)的激光制造并用于低溫連接高溫服役電子器件的連接技術(shù)；研究復(fù)雜微納尺度操作與激光光束協(xié)同控制、同質(zhì)/異質(zhì)材料可控納米連接技術(shù)與裝備。（2）研究光電器件超精密激光焊接技術(shù)；突破位置精確搜索、亞微米精度運(yùn)動控制、激光束精確整形傳輸、焊點(diǎn)微位移控制等關(guān)鍵技術(shù)；研制光電器件的超精密激光焊接裝備。

　　考核指標(biāo)：（1）研發(fā)激光納米連接裝備，精度優(yōu)于40nm，實(shí)現(xiàn)低溫連接(<250℃)高溫服役(>300℃)的微納功能器件連接制造，壽命加速實(shí)驗滿足相關(guān)器件國際標(biāo)準(zhǔn)；實(shí)現(xiàn)納米材料激光無損連接，且接頭強(qiáng)度超過母材的90%；應(yīng)用于2-3項新型微納功能器件。（2）研制不少于3類超精密激光焊接裝備，焊接精度優(yōu)于1μm，支撐光電器件精密焊接的重大應(yīng)用，如光通信激光器焊接、柔性顯示器密封、衛(wèi)星準(zhǔn)直器焊接等。

　　2.7 大型構(gòu)件的激光高效清洗裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）

　　研究內(nèi)容：研究激光對材料涂層、污物及微小顆粒等作用的物理機(jī)制及激光清洗方法；研究激光時間-空間-功率、熱變形等對制造性能影響的多元參數(shù)實(shí)時在線檢測與矯正技術(shù)；開發(fā)針對大型構(gòu)件高效激光清洗、復(fù)雜構(gòu)件選區(qū)清洗成套裝備技術(shù)。

　　考核指標(biāo)：面向航空航天、高鐵等領(lǐng)域的重大需求，研發(fā)多元參數(shù)矯正系統(tǒng)（光斑尺寸與平均功率輸出精度誤差優(yōu)于1%）；研發(fā)不少于2類激光清洗裝備并實(shí)現(xiàn)典型工程應(yīng)用驗證：（1）大型構(gòu)件涂層清洗效率大于40m2/h，清洗厚度精度優(yōu)于10m；（2）選區(qū)清洗定位精度優(yōu)于0.1mm，金屬構(gòu)件清洗質(zhì)量不低于Sa3。