【工藝介紹】

激光隱切，即激光隱形切割，是目前主流的芯片切割技術(shù)。這種技術(shù)可以將小功率的激光聚焦在一個直徑僅有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后將晶圓切割開，可有效能避免大功率激光對芯片造成的影響。

【課題】

1、晶圓表面翹曲，切割精度難以保證

由于晶圓表面翹曲，切割晶圓時如果無法實時判別其高度，激光焦點便無法精確落在晶圓改質(zhì)層，導(dǎo)致切割精度下降。

2、激光在加速、減速和轉(zhuǎn)角段打出不均勻

由于高度跟隨的位置鎖存精度不高，尤其在速度有變化或轉(zhuǎn)角的情況下，激光難以均勻地作用在被加工物體上，從而導(dǎo)致過度加工等現(xiàn)象。

3、平臺控制精度、響應(yīng)度不高

可能存在模擬量干擾、模擬量非線特性、模擬量零漂，或驅(qū)動器電流環(huán)延遲等影響，導(dǎo)致平臺運動緩慢，響應(yīng)性和精度不足。

【解決方案】

1、實時高度跟隨控制

切割晶圓時，通過歐姆龍位移傳感器實時測量產(chǎn)品表面微小高度波動，并實時補償?shù)郊す馄魉诘腪軸，確保激光焦點精確落在晶圓改質(zhì)層

2、高速位置比較輸出控制

歐姆龍通過采集實時的編碼器反饋進行位置比較，與激光器同步輸出信號進行相位同步，在運動軌跡的所有階段以恒定的空間（而非時間）間隔采集高度數(shù)據(jù)，確保高度跟隨算法的精度保證。

由此，有效避免了激光在加速、減速和轉(zhuǎn)角段的過度加工等，使激光均勻地作用在被加工物體上。

3、歐姆龍PWM（脈沖寬度調(diào)制）控制技術(shù)

歐姆龍通過控制器直接產(chǎn)出開關(guān)量信號，經(jīng)功率放大模塊后直接控制電機電流環(huán)。無模擬量干擾、無模擬量非線特性、無模擬量零漂，無驅(qū)動器電流環(huán)延遲，使平臺運動更快，更直接，提升運動響應(yīng)性和穩(wěn)定精度。

【控制系統(tǒng)】

• 歐姆龍可編程多軸運動控制器 CK3M系列

• 歐姆龍光纖同軸位移傳感器 ZW-7000/ 5000系列

【實現(xiàn)價值】

1、高度跟隨精度

From 大于10μm

To   小于±5μm

2、激光切割速度

From 500~600mm/s

To  800mm/s

【經(jīng)營層】

■ 實時高度跟隨，實現(xiàn)微米級的精度控制，提升切割精度，期待通過業(yè)界最高等級的激光隱切技術(shù)，引領(lǐng)電子行業(yè)的“芯”發(fā)展。

【管理層】

■ 歐姆龍可編程多軸運動控制器兼容第三方產(chǎn)品，使客戶擁有更多的選擇空間，提供豐富靈活的系統(tǒng)搭配。

■ 高度跟隨精度及切割速度的提升，完全建立在控制系統(tǒng)與程序的優(yōu)化，導(dǎo)入時間更快且成本更低。

【工程師層】

■ 歐姆龍可編程多軸運動控制器CK3M系列，內(nèi)置迭代自學(xué)習(xí)等多種算法，可直接調(diào)用，調(diào)試簡單，開發(fā)周期短。

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