項(xiàng)目背景

國內(nèi)頭部半導(dǎo)體材料廠，專注于半導(dǎo)體硅片及其延伸產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)和制造，堅(jiān)持以創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展，為全球客戶提供全產(chǎn)品解決方案。

項(xiàng)目挑戰(zhàn)

眾所周知，硅片是生產(chǎn)集成電路、分立器件、傳感器等半導(dǎo)體產(chǎn)品的關(guān)鍵材料，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)性的一環(huán)。但在硅片生產(chǎn)過程中，伴隨復(fù)雜工藝流程產(chǎn)生的缺陷種類多且復(fù)雜，多數(shù)工廠采用人工目檢方式進(jìn)行外觀檢測(cè)，而人工目檢會(huì)隨著產(chǎn)能的提升和工藝能力要求的提高產(chǎn)生諸多弊端：

判定標(biāo)準(zhǔn)不統(tǒng)一，檢測(cè)效率低下

質(zhì)檢人員流動(dòng)性大，培訓(xùn)周期長

無留檔記錄，無法追溯歷史數(shù)據(jù)

缺陷種類多，無法量化缺陷統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)

無法實(shí)時(shí)監(jiān)控和反饋數(shù)據(jù)，缺少工藝異常鎖定功能

實(shí)施方案

格創(chuàng)東智結(jié)合硅片材料廠生產(chǎn)工藝以及產(chǎn)品特點(diǎn)，推出了ALIOTH系列的S800P產(chǎn)品，該產(chǎn)品專門針對(duì)硅片在酸腐、多晶、背封、去邊等不同工藝過程中的各類缺陷進(jìn)行自動(dòng)化檢測(cè)、分類、統(tǒng)計(jì)；通過CV+AI復(fù)合算法，極大提升缺陷檢出的準(zhǔn)確率，改善硅片在生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制，同時(shí)協(xié)助工廠實(shí)現(xiàn)降本增效。

1）產(chǎn)品外觀缺陷檢測(cè)：通過機(jī)器視覺獲取產(chǎn)品表面特征圖像，對(duì)圖像中的缺陷進(jìn)行精準(zhǔn)定位抓取，并進(jìn)行精準(zhǔn)識(shí)別與分類；

2）數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析：分析產(chǎn)品缺陷分類占比，準(zhǔn)確定位缺陷位置信息，有效識(shí)別生產(chǎn)工藝改善方向；批量統(tǒng)計(jì)分析缺陷變化規(guī)律，定位缺陷產(chǎn)生原因及工藝，實(shí)時(shí)檢測(cè)設(shè)備及工藝性能波動(dòng)情況；結(jié)合生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的缺陷數(shù)據(jù)和趨勢(shì)信息，對(duì)改善制造工藝、優(yōu)化生產(chǎn)流程進(jìn)行缺陷根因分析；

3）自適應(yīng)缺陷識(shí)別：通過自適應(yīng)成像配置調(diào)節(jié)及多種成像方式，結(jié)合無監(jiān)督遷移學(xué)習(xí)的人工智能算法，對(duì)新形態(tài)缺陷不論大小以及形態(tài)均實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)缺陷檢出。并配合自動(dòng)化質(zhì)量監(jiān)控對(duì)設(shè)備問題進(jìn)行報(bào)警。

項(xiàng)目成果

該企業(yè)結(jié)合客戶質(zhì)量控制需求，通過ALIOTH-S800P AOI外觀缺陷檢測(cè)設(shè)備，替代傳統(tǒng)人工目檢，在硅片生產(chǎn)工藝過程中進(jìn)行外觀檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)、分類、統(tǒng)計(jì)以及等級(jí)劃分，極大地提升了檢測(cè)效率及準(zhǔn)確率。

1、人力投入降低80%

通過自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備替代原有人工目檢，10秒檢測(cè)一塊硅片，檢測(cè)效率大幅提升，滿足高產(chǎn)能生產(chǎn)需求；1個(gè)人可以同時(shí)維護(hù)多臺(tái)設(shè)備，大幅降低了人力投入，同時(shí)縮短了人工培訓(xùn)周期。

2、缺陷檢測(cè)準(zhǔn)確率高達(dá)99%

通過自適應(yīng)高分辨率成像穩(wěn)定獲取產(chǎn)品圖像特征，并結(jié)合機(jī)器視覺建立統(tǒng)一的缺陷檢測(cè)規(guī)范，有效提升了產(chǎn)品缺陷檢測(cè)的穩(wěn)定性以及準(zhǔn)確性。

3、出貨良率提升20%

在進(jìn)行缺陷檢測(cè)的同時(shí)，進(jìn)行大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，有效識(shí)別前段工藝生產(chǎn)問題及改善方向，進(jìn)而促進(jìn)生產(chǎn)工藝優(yōu)化，結(jié)合精準(zhǔn)的產(chǎn)品等級(jí)劃分，促使產(chǎn)品出貨良率提升。