近日，格創(chuàng)東智自主研發(fā)的第三代FDC產(chǎn)品——G-FDC設(shè)備故障偵測與分類系統(tǒng)（簡稱“G-FDC”）重磅發(fā)布?；谏詈竦陌雽?dǎo)體行業(yè)Know-How和“AI+工業(yè)軟件”的研發(fā)實力，格創(chuàng)東智G-FDC率先引入Logic規(guī)則引擎，打破了設(shè)備的模塊壁壘、規(guī)則壁壘、OCAP壁壘，使得FDC系統(tǒng)更加靈活和便捷。未來還將融合更多AI技術(shù)，布局AI智能FDC，實現(xiàn)智能設(shè)備故障診斷和分類，確保設(shè)備效率最大化，從而幫助半導(dǎo)體工廠提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本。

G-FDC 3.0業(yè)界領(lǐng)先，功能更強、性能更優(yōu)，支持企業(yè)級統(tǒng)一管理

眾所周知，半導(dǎo)體設(shè)備投資成本巨大，晶圓廠建廠超過75%的成本用于設(shè)備采購。與此同時，這些半導(dǎo)體設(shè)備每天產(chǎn)生數(shù)十億條設(shè)備數(shù)據(jù)。

因此，如何通過FDC采集設(shè)備數(shù)據(jù)、偵測設(shè)備故障、分析并預(yù)測設(shè)備異常、確保設(shè)備效率最大化，是半導(dǎo)體工廠降本提效的主要方式之一。

經(jīng)過多次研發(fā)迭代，格創(chuàng)東智此次發(fā)布的G-FDC 3.0具有以下優(yōu)勢：

功能更強

大新增設(shè)備OEE分析提升模塊、Tool Match設(shè)備差異分析模塊、優(yōu)化MVA模塊等，產(chǎn)品功能更加完善；

技術(shù)更領(lǐng)先

采用更具優(yōu)勢的技術(shù)組合，保證系統(tǒng)處理大數(shù)據(jù)量的采集、計算、存儲的實時性和可靠性；完整的二次開發(fā)和運維支持方案，支持規(guī)則引擎，靈活可擴展；

性能更穩(wěn)定

采用大數(shù)據(jù)架構(gòu)，相對傳統(tǒng)FDC處理性能提升10倍；分布式集群部署，可用性達到99.999%；高性能高吞吐量、HA高可用穩(wěn)定；不限參數(shù)和設(shè)備數(shù)量，資源可彈性擴展；

企業(yè)級FDC

除了傳統(tǒng)的部署在廠站端的FDC之外，G-FDC還提供企業(yè)級FDC版本，即支持中心化管理的企業(yè)分布式架構(gòu)，通過跨廠站（Cross Fab）的基于大數(shù)據(jù)平臺的FDC參數(shù)應(yīng)用，包括設(shè)備差異分析（Tool Matching）、規(guī)格優(yōu)化（Spec Tighten）、數(shù)據(jù)/規(guī)格/報警的對比等功能，實現(xiàn)FDC的集團化、標(biāo)準(zhǔn)化和統(tǒng)一化管理。

以某12吋Wafer Fab廠的極限數(shù)據(jù)量為例：2000臺設(shè)備/1.5萬個腔室、5000萬個模型實例/200萬實時并行匯總模型實例、80萬個SENSOR參數(shù)……

我們一起來看下G-FDC 3.0的性能測評數(shù)據(jù)：

在整體數(shù)據(jù)鏈路的延時方面

G-FDC 3.0數(shù)據(jù)鏈路的延時控制在500ms以內(nèi)的約85% ，1s以內(nèi)占比97%；相對傳統(tǒng)FDC提速3-5倍；

30天以上匯總參數(shù)報表查詢和繪圖

G-FDC 3.0耗時僅1分鐘，相對傳統(tǒng)FDC提速8-15倍；

異常偵測實時性

千萬級偵測模型實例下，G-FDC 3.0約1-2秒完成偵測OCAP和告警。

深入布局AI FDC，實現(xiàn)智能故障診斷和分類

傳統(tǒng)的FDC系統(tǒng)已經(jīng)存在多年，但由于其基于規(guī)則的靜態(tài)模型，無法感知工況的變化，常常導(dǎo)致模型失效。這種建模不準(zhǔn)確和模型失效的問題，帶來了大量的誤報（False Alarms），其比率甚至超過30%。此外，傳統(tǒng)FDC還缺乏智能故障診斷和分類能力，導(dǎo)致系統(tǒng)存在低質(zhì)量、低效率的局限。

作為以AI驅(qū)動的工業(yè)智能解決方案提供商，格創(chuàng)東智矢志將AI先進技術(shù)賦能到工業(yè)軟件里。AI FDC就是其中一個。

AI FDC通過引入AI技術(shù)，結(jié)合機器學(xué)習(xí)和深度學(xué)習(xí)，利用實時設(shè)備工藝數(shù)據(jù)和量測數(shù)據(jù)，實現(xiàn)自動化建模。AI FDC具備自我意識和自適應(yīng)能力（Self-Adaptive），能夠動態(tài)感知并適應(yīng)環(huán)境和工藝的變化，從而提升模型的性能和準(zhǔn)確性。

例如在干法蝕刻的場景中，過去工藝工程師根據(jù)人工經(jīng)驗，建立FDC虛擬模型通過電弧監(jiān)控進行異常片攔截，效率不高，仍會出現(xiàn)產(chǎn)能影響甚至批量的刮傷、砸傷；格創(chuàng)東智為工廠應(yīng)用AI FDC后，加強多因子系統(tǒng)分析，發(fā)現(xiàn)了溫度、導(dǎo)電率等多個關(guān)鍵影響因子，通過相關(guān)站點集中性分析相關(guān)因子，實現(xiàn)了更好的異常片攔截效率。

國內(nèi)落地項目最多，G-FDC深受客戶好評

格創(chuàng)東智擁有國內(nèi)最大最專業(yè)的FDC產(chǎn)品團隊，研發(fā)和項目交付人員共計30+，核心人員來自一線FAB和工業(yè)軟件公司，擁有完整的FDC方案及實施能力、專業(yè)的人才儲備及交付經(jīng)驗。

經(jīng)過不斷努力，格創(chuàng)人逐步打破了FDC被國外廠商壟斷的局面。在主流的8英寸和12英寸晶圓廠、以及先進封裝廠都有成功案例；并成功實現(xiàn)多款外資FDC系統(tǒng)的全功能國產(chǎn)化替代，并確保系統(tǒng)切換時的無損數(shù)據(jù)遷移及平穩(wěn)過渡。

目前，格創(chuàng)東智FDC落地實施工廠10+，機型200+，設(shè)備5000+，是國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)落地案例最多的廠家。

不積跬步，無以至千里。正是每一次產(chǎn)品的迭代與優(yōu)化，才有了格創(chuàng)東智FDC項目的厚積薄發(fā)，也才有了客戶的一次又一次認可。未來，格創(chuàng)東智還將融合邊緣計算及AI技術(shù)，與現(xiàn)有的FDC/SPC/APC/AMS/EAP等產(chǎn)品聚合，形成以設(shè)備為核心的設(shè)備智能中心解決方案，實現(xiàn)更高的OEE、更好的CPK，讓設(shè)備更智能，讓工業(yè)更智慧。